Ausblick
Die gewählte Lösung erlaubt die Integration beliebiger Sensoren, sofern Außenabmessungen und Lage der Fluidanschlüsse nicht verändert werden. Die Kombination von Silizium/Glas Sensoren oder Aktuatoren mit Kunststoff-Slides erlaubt dem Anwender die guten elektrischen und mechanischen Eigenschaften von Silizium zu nutzen und eröffnet gleichzeitig die Möglichkeit einer kostengünstigen Integration.